一种MEMS一氧化碳传感器及其制备方法和应用

本申请属于一氧化碳检测领域，具体公开了一种MEMS一氧化碳传感器及其制备方法和应用。该MEMS一氧化碳传感器包括MEMS基底及其上方依次溅射形成的InO层、InO+NiO复合层、Au催化层组成的功能化复合敏感膜层。本申请通过InO/NiO p‑n异质结设计、Au纳米岛催化层等设置，使得制得的MEMS一氧化碳传感器获得了较低的一氧化碳检测限、快速响应和抗干扰能力强等特点，同时也实现了微型化、低成本、轻量化、低功耗、集成化程度高等效果，在一氧化碳的监测和预警领域有着较大的应用前景。