晶圆转速检测装置及晶圆清洗设备

本申请涉及一种晶圆转速检测装置及晶圆清洗设备，其包括：支撑组件、位移补偿机构、测速传感器以及测速轮；支撑组件包括支撑轴以及支撑座，支撑座具有安装孔，支撑轴支撑在支撑座上，且安装孔的孔口朝向支撑轴；位移补偿机构置于支撑座的安装孔中，用于对支撑轴产生向上的补偿力，补偿力包括弹力以及气浮力；测速轮转动设置在支撑轴上，用于与晶圆接触以被晶圆带动而旋转；测速传感器设于支撑座上，用于检测测速轮的转速。本申请，可以对支撑轴进行向上支撑力的补偿，确保测速轮与晶圆保持接触，避免无法检测晶圆转速。