一种供电装置及晶圆测试设备

本发明公开了一种供电装置及晶圆测试设备，涉及半导体晶圆测试领域，针对晶圆的功能测试及老化测试，包括电源模块，输出端与控制模块的供电端及驱动模块的供电端连接，控制模块及驱动模块供电；控制模块，反馈端与采样模块的输出端连接，输出端与驱动模块的控制端连接；采样模块，输入端与驱动模块的输出端连接，采集驱动模块的输出电流；自检模块，输入端与驱动模块连接，输出端与控制模块连接。采样模块将驱动模块输出的电流反馈至控制模块，进而影响控制模块输出至驱动模块的控制信号，驱动模块输出至待测对象的电流更加准确。自检模块在刚上电时对驱动模块进行检测，以便控制模块确定驱动模块的工作状态，提高了对待测对象供电的稳定性。