一种基于基板内嵌入微流管道的微波介电参数测量传感器

本发明属于微波技术与传感技术交叉领域，具体涉及一种基于基板内嵌入微流管道的微波介电参数测量传感器，基板的一面设置有微带传输线和谐振结构；微带传输线用于激励和传输微波信号；谐振结构用于增强基板一定区域内的电磁场分布；基板内部嵌入有微流管道，微流管道用于将待测物质精准输送至电磁能量最集中的区域；基板的一面设置接地层，用于约束电磁场，将其能量主要集中基板内。本发明微流管道嵌入在基板内的强电场区域，使待测物质直接与电磁能量集中区相互作用，从而实现结构紧凑、高灵敏度、高精度的介电参数测量。本发明提供传感器在生物医学检测、化学分析、环境监测以及工业过程控制等领域具有广阔的应用前景。