一种针对硅基板的电源完整性测试方法和装置

本申请涉及一种针对硅基板的电源完整性测试方法和装置，应用于与待测试硅基板连接的测试装置中的上位机，包括：对待测试硅基板进行失效行为检测，在待测试硅基板不存在失效行为的情况下，通过预设的采集通道获取待测试硅基板中设置的多个传感器采集到的测试数据信息；其中，待测试硅基板的不同预设区域中均设置有多个传感器，各传感器均用于向上位机反馈采集到的传感器所在位置的测试数据信息；基于测试数据信息确定待测试硅基板的各个区域中不存在误差的目标区域，并针对目标区域执行可靠性测试，得到待测试硅基板的内部状态测试结果。通过本申请可获取硅基板内部状态的准确测试结果。