用于失效分析的拆分测试方法、装置及系统

本发明提供了一种用于失效分析的拆分测试方法、装置及系统。该方法包括：获取存在失效异常的待分析通路，待分析通路包括设置有至少两个测试端子的开发板以及设置在其上的待测样品；将待分析通路划分为若干个拆分子通路，并根据待测样品的电路原理选取至少一个拆分子通路作为待失效分析的目标拆分子通路；对于每一个所述目标拆分子通路执行如下操作：将其输入端子和输出端子从待分析通路上断开并通过引线将输入端子和输出端子分别与两个不同的测试端子连接；并根据与当前目标拆分子通路连接的两个测试端子的信号确定该当前目标拆分子通路是否存在失效异常。本发明不会破坏原有的失效连接状态，能够快速锁定失效位置，有效提高失效分析效率。