一种MEMS电场传感器温度漂移补偿方法

本发明公开了一种MEMS电场传感器温度漂移补偿方法，属于电力系统测量方法技术领域。该方法通过在不同电场强度（零电场、满量程电场、半量程电场）条件下，改变环境温度并获取MEMS电场传感器的输出特性参数，建立传感器输出与温度、电场强度的矩阵关系；在实际测量时，利用温度传感器实时采集环境温度，中央处理单元调用预存的矩阵数据，对传感器输出进行拟合补偿，以消除温度漂移影响。本发明具有体积小、功耗低、补偿精度高、维护成本低等特点，适用于电力系统野外输电线路等场景的非侵入式电压测量，有效提升了MEMS电场传感器的测量准确性和可靠性。