一种晶圆测试同步性校准方法、系统和存储介质

本发明涉及晶圆测试技术领域，尤其涉及一种晶圆测试同步性校准方法、系统和存储介质。该方法采用了“板间测量”与“板内测量”相结合，并进行数据合成的策略。首先，通过测量全局基准通道与各板卡对应通道之间的时间差，捕捉到了系统级的、板卡间的同步误差。继而，针对每一块板卡，测量其所有内部通道与板内基准通道的时间差，精确获取了通道级的细微偏差。将这两组不同层级的测量数据进行融合，使得最终生成的原始时间偏差数组同时蕴含了板卡级和通道级的误差信息。这意味着，将同步性校准的基准有效地从测试机内部传递至探针卡针尖，克服了传统方法无法校准接口板线路时延的根本缺陷。