一种基于相位调制的片上全集成光环形器

本发明公开了一种基于相位调制的片上全集成光环形器。片上全集成光环形器包括层叠的衬底、埋氧层、光波导层、上包层以及用于制作金属电极的金属层，光波导层包含二组输入/输出光波导组、一个四端口谐振腔和两对金属电极对，金属层包括四个调制区域；谐振腔的四个端口分别与调制区域的四个接口连接，每组输入/输出光波导组由弯曲光波导连接并耦合连接到谐振腔，金属电极对中间弯曲形成共面波导电极，调制区域的每两端中间由共面波导电极连接。本发明首次在硅基衬底下实现了全集成的光学环形器，与当前主流光学集成平台如SOI、LNOI、LTOI兼容，可广泛应用于大规模光子集成芯片中，如光通信、光传感、片上光互连等领域。