光学模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备

本申请公开了一种光学模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备，涉及晶圆检测技术领域。该光学模组包括沿物侧至像侧方向依次分布的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜和第五透镜，第一透镜和第二透镜胶合，第三透镜和第四透镜胶合，第一透镜的物侧方向设有孔径光阑；第一透镜为具有正光焦度的双凸透镜，第二透镜为具有负光焦度的弯月透镜，第三透镜为具有正光焦度的双凸透镜，第四透镜为具有负光焦度的双凹透镜，第五透镜为具有负光焦度的弯月透镜。采用本申请光学模组，能够具有40mm大视场，便于后续观察检测，并且像质良好。