一种光学成像模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备

本申请公开了一种光学成像模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备，涉及晶圆检测技术领域。该光学成像模组包括沿物侧至像侧方向依次分布的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜，第二透镜和第三透镜胶合，第四透镜和第五透镜胶合，第八透镜、第九透镜和第十透镜胶合，第五透镜和第六透镜之间设有孔径光阑，各透镜均为球面玻璃透镜，光学成像模组的数值孔径为0.3，放大倍率为8，总长＜70mm，像面最大畸变≤0.2%。采用本申请光学成像模组能够提升成像质量，并且便于集成和小型化。