一种光学成像模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备

本申请公开了一种光学成像模组及具有其的半导体晶圆缺陷检测设备，涉及晶圆检测技术领域。该模组包括沿物侧至像侧方向依次分布的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜和第九透镜，第二透镜和第三透镜之间设有孔径光阑，第三透镜和第四透镜胶合，第六透镜、第七透镜和第八透镜胶合，各透镜均为球面玻璃透镜，第一透镜具有正光焦度，第二透镜具有负光焦度，第三透镜具有正光焦度，第四透镜具有正光焦度，第五透镜具有正光焦度，第六透镜具有正光焦度，第七透镜具有负光焦度，第八透镜具有负光焦度，第九透镜具有正光焦度。采用本申请模组能够提升成像质量，并缩短镜头总长，便于集成和小型化。