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기록
一种用于入射光对称性调整的光学系统
발명유효
12청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张哲炜
IPC 분류
G02B 27/12 (2006.01)G02B 27/14 (2006.01)G03F 7/00 (2006.01)
本申请涉及光学领域,公开一种用于入射光对称性调整的光学系统,包括:光源、分束装置和检测装置;分束装置包括分光元件和分束光路组件,分光元件用于将光源发射的光束分成两路入射光,并分别自两个出光面出射;每个分束光路组件形成一分束光路;分束光路组件包括反射镜、分光镜和光阑;反射镜将入射光反射至分光镜,分光镜将入射光部分透射至光阑,入射光经光阑入射至反射结构的反射面后形成反射光,反射光自另一分束光路的光阑入射至分光镜;分光镜还用于将反射光部分透射至检测装置的光电探测器。光学系统可以用于检测入射光的对称性,同时可以通过调整反射镜的角度以保证两束入射光的对称性。