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基于超表面实现多偏振高数值孔径拉普拉斯微分器的方法

발명유효
12조회수
6청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

黄玲玲; 周辰; 李晓炜; 王涌天

IPC 분류

G02B 27/28 (2006.01)G02B 27/00 (2006.01)G02B 5/00 (2006.01)G02B 1/00 (2006.01)G02F 1/01 (2006.01)

基于超表面实现多偏振高数值孔径拉普拉斯微分器的方法,属于微纳光子学、光学模拟计算和光场调控应技术领域。单层超表面由非晶硅材料制作的具有六方晶格周期的圆柱阵列构成。通过设计选定硅圆柱的几何参数,使超表面对p偏振光和s偏振光在相同工作波长范围照明下都激发出具有大角度色散能力的共振光谱,在现实空域实现宽带、高数值孔径的光学拉普拉斯微分运算所需的光学传递函数;还能够实现在非偏振光和非相干光条件下也执行拉普拉斯操作。根据确定的硅圆柱单元的几何尺寸,生成相应超表面的加工文件。采用电子束刻蚀的微纳加工工艺加工电介质超表面。在工作波段,超表面能够直接对目标图像在多种照明条件下获得的二维二阶边缘轮廓信息。