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案件記録
一种复制模具结构、纳米压印结构制备方法
発明有効
10請求項 · 2 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
黄爽爽; 史晓华
IPC分類
G03F 7/00 (2006.01)
本发明提供一种纳米压印结构制备方法,采用本发明提供的复制模具结构;所述方法包括:制备得到复制模具;在产品基底表面涂覆产品胶形成所述产品胶层;将所述复制模具压合于所述产品胶层上,使产品胶填充所述模具胶层的纳米结构并经固化形成复合结构;将所述模具载体与所述模具胶层分离,并保持所述复合结构;基于所述复合结构,进行选择性刻蚀,去除所述模具胶层,在所述产品基底表面上形成目标纳米结构。该方法能够彻底规避脱模过程带来的结构损伤风险,并提升压印结构完整性与一致性。本发明还提供的复制模具结构具有相应优势。
外部リソース