正型感光性树脂组合物、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜和抗蚀剂永久膜

本发明提供正型感光性树脂组合物、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜和抗蚀剂永久膜。本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其可得到显影性和耐热性优异的抗蚀剂膜、且保存稳定性和厚膜制膜性良好。一种正型感光性树脂组合物，其含有下述成分(A)～(C)，(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)、由水杨醛衍生的结构单元(a3)和由甲醛衍生的结构单元(a4)的摩尔比[(a1)∶(a2)∶(a3)∶(a4)]为1.0∶0.3～0.8∶0.3～0.8∶0.01～0.2、且具有缩醛基系保护基的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)光致产酸剂/(C)溶剂。