套刻对准标记和套刻误差的测量方法

一种套刻对准标记和套刻误差的测量方法，套刻对准标记包括：前层标记，在平行于前层标记表面的方向上，前层标记具有第一几何中心；当层标记，位于前层标记的上方，在平行于当层标记表面的方向上，当层标记具有第二几何中心，且在同一投影面上，当层标记的投影图形位于前层标记的投影图形内部。本发明实施例能够通过获取第一几何中心的第一坐标，以及获取第二几何中心的第二坐标，确定第一坐标和第二坐标之间偏移矢量，用于表征套刻误差，从而能够同时获得包括横向套刻误差和纵向套刻误差的误差数值，与需要分别设置横向和纵向的套刻对准标记的方案相比，有利于节省套刻对准标记的面积，进而提高了套刻对准标记的性能。