用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法

本发明属于光刻工艺与设备技术领域，具体涉及用于边缘曝光设备移动曝光机构的玻璃基板定位方法，其方法包括：通过计算图像灰度梯度与局部标准差的非对称指数，精确识别玻璃基板上表面的真实边缘点；建立弹性物理模型计算边缘点因悬空产生的垂直下沉量，并结合透视几何原理对观测坐标进行校正，以还原其在理想平面下的真实物理位置；对真实坐标点集进行加权拟合，精确计算出玻璃基板的旋转与平移偏差，从而实现高精度、高鲁棒性的对准控制。