一种用于硼扩散工艺主机台的温度控制系统

本发明涉及TOPCON电池片制造中硼扩散工艺主机台的温度控制技术，旨在解决现有系统中热电偶毫伏信号传输易受衰减、电磁干扰及接地环路干扰，导致炉管温度波动达±8℃以上、产品良率低的问题。该系统在热电偶传感器与温控模块间增设靠近传感器的毫伏信号中继器，中继器含信号调理单元，其功率参数为低噪声放大50‑500倍、0.1‑10Hz二阶低通滤波、隔离转换单元，其为线性度误差<0.01%的模拟光耦隔离、转4‑20mA电流信号及信号输出单元，还配备独立隔离电源与接地屏蔽盒。本发明将炉温波动降至±1℃以下，满足工艺要求，且改造简单、成本低、可靠性高，能提升电池片掺杂均匀性与良率。