基于多源信息的机械泵故障诊断方法及其模型构建方法

本发明提供了一种基于多源信息的机械泵故障诊断方法及其模型构建方法，属于半导体工艺中抽真空机械泵故障诊断领域，本发明通过引入多样性特征和多源信息的策略，在采集到机械泵不同故障下多个测点的振动信号，并对其进行时域分析、频域分析以及时频域分析来得到不同的参数，采用多源信息融合的方法得到具有高维混合特性的融合特征，最后将融合到的特征用于训练深度学习网络进行故障分类。有效地解决机械泵故障诊断中算法鲁棒性、泛化能力差及结果准确率低等问题，从而对机械泵的状态参数进行实时监测，降低机械泵故障诊断的人力物力投入的同时，保证装置的长期安全稳定运行。