一种晶圆载具物料标识验证方法和系统

本发明公开了一种晶圆载具物料标识验证方法和系统，该方法包括数据采集、数据规范化、分层比对校验和结果反馈与异常处理，通过数据规范化，针对人工比对因数据格式不统一而容易出错的问题，对来自不同源头的标识数据进行清洗和格式转换，可有效消除不同源头标识数据的格式差异、为后续自动化精准比对奠定统一数据基础的效果，从根源上降低因格式混乱引发的误判风险。通过分层比对校验，针对人工验证效率低下、稳定性差且无法处理偶发错误的问题，取得了在保证极高准确性的同时，有效应对扫描抖动、数据暂未更新等临时性故障，从而提升整体验证流程的鲁棒性和智能化水平的效果。