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案件記録

一种基板缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质

発明有効
11請求項 · 4 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

吴柯岐; 刘天龙; 倪水滨; 袁洪光; 陈飞; 李飞; 胡杰文; 王州; 郭树荣

IPC分類

G06T 7/00 (2017.01)G06N 3/0464 (2023.01)G06N 3/048 (2023.01)G06V 10/46 (2022.01)G06V 10/764 (2022.01)

本申请实施例提供一种基板缺陷检测方法、装置、电子设备及存储介质,涉及检测技术领域。应用本申请实施例的方法,可以通过对待检测的基板的第一图像数据进行下采样及卷积的编码操作,得到分辨率不同的编码图像数据,再进行上采样及卷积的解码操作,得到目标图像特征,其中,目标图像特征包括表示背景的第一通道及表示缺陷的第二通道;计算目标图像特征中各像素的分类结果概率值,生成二值化缺陷检测图,使基板缺陷区域更加明确,实现基板缺陷的自动检测,降低人工判断缺陷区域的成本,提高基板缺陷检测效率。且通过第一深度学习模型进行特征提取,可以利用神经网络的特性,使其对第一图像数据中各膜层的颜色更加敏感,提高缺陷检测的准确率。

外部リソース