基于多模态传感器融合的跨尺度缺陷检测方法及系统

本发明公开了基于多模态传感器融合的跨尺度缺陷检测方法及系统，方法包括以下步骤S1，多模态传感器采集单元采集缺陷数据；S2，对采集到的缺陷数据进行预处理；S3，基于尺度不变特征变换扩展方法，构建三维尺度空间，检测并描述关键点，进行多模态数据的空间配准；S4，采用自适应权重融合方法，依据传感器分辨率、信噪比及数据完整性动态计算权重，进行多尺度数据融合；S5，对融合后的图像进行多尺度边缘和纹理分析，提取缺陷特征；S6，基于提取特征，利用机器学习模型进行缺陷分类与定位。本发明建立完整的缺陷检测流程，涵盖数据采集、预处理、跨尺度融合、缺陷特征提取与识别，实现对半导体晶圆及金属表面裂纹的高效检测。