一种图像处理方法、设备、介质及计算机程序产品

本申请公开了一种图像处理方法、设备、介质及计算机程序产品，涉及半导体制造技术领域。该图像处理方法包括：通过扫描电子显微镜采集多个晶圆样本的目标图像样本，并获取每个目标图像样本的第一轮廓图像标签；基于目标图像样本，通过预设图像边缘模型的生成器，生成第一轮廓图像结果，再通过像素差异损失、对抗损失以及边缘监督损失，对预设图像边缘模型进行迭代训练，直至满足收敛条件，得到目标图像边缘模型，目标图像边缘模型的生成器能基于目标晶圆的目标图像输出边缘轮廓图像。即通过像素差异损失、边缘监督损失以及对抗损失的多维度约束，使预设图像边缘模型向着生成更符合实际边缘轮廓的方向进行训练，提高边缘轮廓图像的准确性。