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기록

用于旋涂滤光片的镀膜质量视觉检测方法及系统

발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

赵刚科; 方弟

IPC 분류

G06T 7/00 (2017.01)G06T 5/20 (2006.01)G06T 5/70 (2024.01)G06T 5/90 (2024.01)

本发明涉及图像处理技术领域,具体涉及用于旋涂滤光片的镀膜质量视觉检测方法及系统。其方法包括:获取滤光片在多个方位下至少三个入射角下光源透射后的多个透射图像的灰度图像;将各灰度图像与背景灰度图的差值图作为残差图;对所述残差图进行二值化处理,得到对应二值图;对各二值图进行连通域分析,以得到各二值图的疑似缺陷区域;对各疑似缺陷区域进行趋势性检验,得到对应方位的趋势方向统计量;响应于所有方位下的趋势统计量均一致,则疑似区域存在涂镀膜均匀性异常;反之,该疑似缺陷区域受到张紧度不一致的干扰。即本发明的方案能够准确检测出滤光片上镀膜层的均匀性,以评估滤光片表面的镀膜质量是否合格。