一种图像缺陷检测方法、系统和可读存储介质

本发明涉及半导体图像处理领域，具体提供一种图像缺陷检测方法、系统和可读存储介质，包括视觉编码器、大语言模型和回归框预测头，所述方法包括将待检测图像输入至所述视觉编码器，生成基于全局信息和局部特征的图像向量；将缺陷问题文本输入所述大语言模型生成文本向量，所述大语言模型根据所述图像向量和所述文本向量得到预测信息；回归框预测头根据预测信息输出缺陷检测结果，所述缺陷检测结果包括缺陷检测框坐标和缺陷类别。能够在样本较少的情况下依然能够保持较高的检出率与准确率，具备良好的跨产线泛化能力。