晶圆图像匹配方法、装置和计算机存储介质

本申请实施例提供一种晶圆图像匹配方法、装置和计算机存储介质，该方法首先对获取的待测与模板图像进行下采样，在低分辨率空间快速计算初始匹配位置以大幅缩减搜索范围；进而利用预先训练的神经网络对低分辨率待测图像进行上采样，重建出细节增强的高分辨率图像；最后基于此高质量图像在初始位置邻域内进行精细匹配，确定最佳亚像素位置。该方法通过低分辨率粗匹配高效压缩了搜索空间，显著降低了整体计算复杂度，提升了速度；同时借助神经网络驱动的超分辨率恢复有效克服了传统插值法的细节模糊问题，为精匹配提供了高保真度的图像数据，从而在保证亚像素级的匹配精度。