微波电子枪、生成电子回旋共振区域的方法和离子注入机

本发明提供了微波电子枪、生成电子回旋共振区域的方法和离子注入机，其中，所述微波电子枪包括：等离子体腔室；所述等离子体腔室具有第一端和第二端；所述第一端用于通入微波；所述第二端用于通入气体；所述等离子体腔室的侧壁上设有逸出区，自所述第一端至所述第二端，逸出区的粒子逸出效率逐渐降低，所述粒子包括电子，和/或，气体分子/原子。本技术方案的微波电子枪，降低了等离子体腔室内的气体的泄漏程度，提高微波电子枪的工作性能。