带有扫描系统的透镜，带电粒子束装置以及扫描带电粒子束的方法

描述了配置用于带电粒子束装置的透镜。所述透镜包括配置为充电至第一电位的第一电极，以及与所述第一电极连接的衬垫管，所述衬垫管包括至少第一导电部分；所述第一导电部分上游的陶瓷部分；以及一或多个涂层，这些涂层设置于所述陶瓷部分上并与所述第一导电部分电接触。所述透镜包括配置为充电至第二电位的第二电极，所述第一电位与所述第二电位在所述第一导电部分与所述第二电极之间产生透镜效应；及具有至少一对扫描线圈的磁偏转器，所述扫描线圈设置于所述衬垫管外部。