一种三维吸波超材料、单元结构、制备方法及设备

本发明公开了一种超宽带薄层三维吸波超材料，包括依序结合的第一三维超结构、阻性频率选择表面和第二三维超结构。第一三维超结构具有台阶凸台，并且以台阶倒置的方式通过凸台面与所述阻性频率选择表面结合；第二三维超结构具有塔型中柱，并且与中柱顶面与所述阻性频率选择表面结合。所述第一三维超结构表面布设有第一电阻膜。所述第二三维超结构表面布设有第九电阻膜。所述第二三维超结构表面还布设有超表面。所述阻性频率选择表面包括衬底，以及在该衬底上生成的第一结构单元。