一种产生多谱线CO激光脉冲种子的系统

本发明公开了一种产生多谱线CO激光脉冲种子的系统，属于CO激光器技术领域，包括：谐振腔，包括反射元件组、第一光栅和增益介质；所述第一光栅用于将不同波长的光束在所述增益介质中进行空间分离，实现多谱线同时振荡；所述反射元件组用于将经所述第一光栅分光后的各谱线光束平行反射回所述增益介质；选束与扩束机构，包括可调孔径光阑组和扩束镜组，用于控制各谱线的横模和空间分布；腔倒空结构，用于在光子积累至最大值时将所述谐振腔内光束全部输出，形成多谱线CO激光脉冲种子。本发明可应用于LPP极紫外光刻技术中产生驱动激光的脉冲种子，具有成本较低、输出稳定、脉冲质量较好的优势。