一种单片集成光电吸收区的半导体激光器及使用方法

本发明公开了一种单片集成光电吸收区的半导体激光器及使用方法，该激光器包括激光器区、光电吸收区及波导结构，激光器区与光电吸收区在同一外延片上集成形成，分别设置波导结构与电极；激光器区采用π相移光栅结构，实现单模受激辐射输出；光电吸收区不设光栅结构，用于吸收背向出光并产生光生电压信号；吸收区波导设计为弯曲结构，且宽度沿光传播方向逐渐减小，以降低结电容。本发明的半导体激光器集成了光电吸收区，结构紧凑，使用本发明的半导体激光器便于实现激光器功率的实时、无损、在线监测，适用于光通信、工业激光加工、车载激光雷达等对长期稳定监测有高要求的场景。