一种半导体激光器及其制备方法

本发明涉及激光器技术领域，尤其涉及一种半导体激光器及其制备方法，半导体激光器包括：堆叠结构，堆叠结构包括脊波导，堆叠结构分为在第一方向排布的激光振荡区和光束角度调控区，与出光腔面相接的部分脊波导内具有沿第二方向间隔排布的多个凹槽，相邻两个凹槽之间的脊波导作为调控波导；P型主电极位于激光振荡区的脊波导顶面；分布式电极包括多个调控电极，调控电极位于相对应的调控波导顶面；其中，各调控电极加载相应的调控电流，以实现光束角度调控区对初始激光的光束角度进行调控，进而从出光腔面输出目标激光。本发明在无需设置额外光束整形系统的情况下实现了激光发射光束角度的自由调控，有利于简化系统结构以及降低成本。