光子晶体面发射激光元件的制备方法以及光子晶体面发射激光器

本发明属于半导体光电技术领域，公开了一种光子晶体面发射激光器及其制备方法和应用。本发明提供的制备方法中，在基底和光子晶体面发射激光元件之间引入具有纳米柱的牺牲纳米结构层，该牺牲纳米结构层能够在光子晶体面发射激光元件形成的过程起到机械支撑和稳定作用，且在光子晶体面发射激光元件形成后可通过破坏牺牲纳米结构层实现其与基底之间分离，以在保证加工精度的情况下，不在光子晶体面发射激光元件中引入基底，不仅可实现基底的循环利用以降低生产成本，还可以有效地缩小光子晶体面发射激光元件中有源区与器件中散热部分之间的距离，有效地提高光子晶体面发射激光元件的热管理性能。