能量管理自唤醒微系统

本申请涉及一种能量管理自唤醒微系统。其中，能量管理自唤醒微系统包括：机械储能模块，用于在当前微系统休眠前经机电耦合将电能转换为机械势能，并锁存机械势能；零功耗触发模块，用于在感知到预设事件信号时，解锁机械储能模块，释放机械势能，驱动‑开关模块，用于将释放的机械势能转换为开关接触力，以通过开关接触力控制目标开关的闭合或断开，自复位模块，用于在目标开关的开关动作结束后，通过预设的执行器重新为机械储能模块加载能量。由此，本申请通过一种用于MEMS事件开关的能量管理自唤醒微系统架构，解决了能耗高、导通时间短、依赖辅助电路，增加系统复杂度和额外功耗的问题，大大提升了事件驱动型传感器的能量利用效率。