弹性波器件及模块

本发明涉及一种弹性波器件，其包括支撑衬底、压电层以及IDT电极;IDT电极形成于压电层的主表面上，用于激发波长为λ的弹性波；压电层层叠于支撑衬底之上；其中，支撑衬底的材料为金属，且金属材料需满足关系式：其中为材料密度，E为材料杨氏模量，为泊松比。采用满足该关系式的金属材料作为支撑衬底，一方面可以显著提高衬底的散热能力，实现器件功率耐受能力的提升。另一方面，满足该关系式的金属，具有较高的声阻抗，可以实现Q值的提高。