一种压电振动器件及其制备方法

本发明提供一种压电振动器件及其制备方法，属于压电晶体器件技术领域，压电振动器件包括：盖板、底板和功能层，所述功能层位于所述盖板和所述底板之间；所述功能层和所述盖板的键合面上，所述功能层的键合环与所述盖板的键合环相互键合，所述功能层和所述底板的键合面上，所述功能层的键合环与所述底板的键合环相互键合；至少一个所述键合面对应的两个键合环垂直于所述键合环延伸方向的宽度不同。通过键合环宽度差异的设计，解决了现有技术无法实现系统级封装以及污染和机械应力影响压电振动器件稳定性的问题，实现了压电振动器件晶圆级封装的同时，提升了压电振动器件封装的密闭性。