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一种具有双面测试电极的压电振动基板
발명유효
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§ Ⅰ
개요
발명자
原毅; 张智鹏; 孙圣; 裴志强; 魏鹏; 欧毅
IPC 분류
H03H 9/15 (2006.01)H03H 3/02 (2006.01)H10N 30/08 (2023.01)
本发明提供一种具有双面测试电极的压电振动基板,所述具有双面测试电极的压电振动基板包括框部、振动片、激励电极、安装电极和测试电极,振动片包括基端部和一对振动臂,振动臂沿振动片的长度方向延伸,基端部的一端与框部连接,基端部的另一端与振动臂连接,激励电极包括一对分别设置于两个振动臂上的第一激励子电极,第一激励子电极用于驱动对应的振动臂振动,安装电极包括一对均设置于基端部上的安装子电极,两个安装子电极沿振动片的宽度方向间隔布置,测试电极包括分别设于框部正面、背面的一对测试子电极,测试子电极、安装子电极和第一激励子电极一一对应且依次电连接。