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기록

一种压电振动基板

발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

原毅; 谷华锋; 孙圣; 裴志强; 魏鹏; 殴毅

IPC 분류

H03H 9/15 (2006.01)H03H 3/02 (2006.01)H10N 30/082 (2023.01)

本发明提供一种压电振动基板,所述压电振动基板包括框体、振动片和连接件,振动片包括基部和振动臂,基部的一端与振动臂相连,连接件包括断裂部,框体、断裂部和基部沿振动臂的延伸方向依次相连,断裂部在外力作用时可断开以使基部与框体分离,断裂部通过湿法刻蚀或干法刻蚀形成。本发明实施例的压电振动基板,将压电振动基板的断裂部经过湿法刻蚀或干法刻蚀处理,从而有效降低该区域的机械强度,因此裂纹会优先在此处扩展,从而使断裂位置可控且集中,实现振动片与框体的可靠分离。本发明实施例的压电振动基板,不仅提高了断裂位置的一致性,避免了传统技术中因断裂位置不确定而导致的残留或损坏问题,还提升了产品良率和制造效率。