一种热隔离的石英晶振晶片及其制备方法

本发明提供一种热隔离的石英晶振晶片及其制备方法，属于压电晶体器件技术领域，热隔离的石英晶振晶片包括：晶片本体，晶片本体包括谐振区；两组电极结构，两组电极结构沿晶片本体的厚度方向分别位于晶片本体两侧，电极结构包括电极和电极引出端，电极位于谐振区，一组电极结构中，电极与电极引出端电连接；晶片本体设置有多个通孔，部分通孔围绕谐振区设置以形成第一热隔离区，其余通孔围绕电极引出端设置以形成第二热隔离区。通过晶片本体上的通孔，解决了现有技术中热隔离技术存在的工艺复杂、实现成本高以及热传导效率低等问题，实现了石英晶体器件中的热隔离，降低了石英晶体器件的谐振频率漂移。