音叉谐振器及其制作方法

本发明涉及谐振器领域，提供一种音叉谐振器及其制作方法。音叉谐振器包括基座，基座上形成有一对振动臂；配重部，形成于振动臂背离基座的一端，在配重部的至少一个主面上形成有调整块，由配重部的表面向远离配重部的表面的方向，调整块上形成有至少两层阶梯结构。该音叉谐振器可以形成粗调至精调的分层控制逻辑，解决传统单一金属膜因厚度均匀导致的调整精度不足问题；多层阶梯结构设计通过差异化质量分布，扩大了频率调整的动态范围；调整块的多层结构可通过至少一次电镀工艺成型，无需复杂后处理，在提升精度的同时兼顾生产效率，满足工业化量产对良率与成本的双重需求。