朗缪尔探针及探测系统

本申请提供一种朗缪尔探针及探测系统。朗缪尔探针包括第一绝缘层、收集极和接地导体。收集极的第一端设置于第一绝缘层内部，收集极的第二端伸出第一绝缘层。接地导体设置于第一绝缘层的外侧，接地导体的一端用于与等离子体电接触，另一端与数据采集系统的接地端电连接，形成接地回路。当朗缪尔探针的收集极与低密度等离子体接触时，收集极和接地导体之间构成本地回流通路，有效避免腔壁鞘层电阻过大导致的电压分压及测量失真，降低了等离子体与腔室壁之间的电阻性分压影响，适用于低密度、弱电导等离子体环境下的精确诊断。