一种原位点火的等离子体发生装置

本发明公开了一种原位点火的等离子体发生装置，属于等离子体源技术领域。该等离子体发生装置包括第一电极、介质、第二电极和第三电极；第一电极电压高于第二电极和第三电极；第一电极和第二电极之间的距离小于第一电极和电三电极的距离；第一电极、介质和第二电极依次层叠设置，且第一电极和第三电极相隔间隙相对设置；第一电极与第三电极相对的侧面上设置贯通的槽位，第一电极、介质和第二电极构成原位点火电极；第一电极和第二电极之间经由介质发生介质阻挡放电，产生种子电荷；种子电荷通过槽位经过间隙向第三电极移动；在间隙中的种子电荷达到预设浓度后，第一电极和第三电极在间隙中放电，产生等离子体。提高电极点火的效率与放电的稳定性。