一种自旋轨道扭矩驱动的高密度磁存储器及制备方法

本发明公开了一种自旋轨道扭矩驱动的高密度磁存储器及制备方法，涉及高密度磁存储器领域，包括基板，所述基板呈平坦的板状结构，所述基板采用硅、二氧化硅或蓝宝石中的至少一种材料构成，所述基板的上表面经过化学机械抛光或原子级平整处理，以提供具有低于0.2纳米均方根粗糙度的超光滑表面；缓冲层，所述缓冲层的厚度介于1纳米至20纳米之间，所述缓冲层呈薄膜层状结构；该自旋轨道扭矩驱动的高密度磁存储器及制备方法，通过将基板通过原子级平整处理，缓冲层通过晶格匹配设计促进后续层外延生长，隧道势垒层与磁性层界面粗糙度<0.3纳米，大幅降低界面散射对自旋传输的影响；且自由磁性层采用垂直磁各向异性设计，实现超高存储密度。