电容器结构及其制备方法

本申请公开了一种电容器结构及电容器结构的制备方法。该电容器结构包括：基底；第1至第m个导电层，沿着远离所述基底的方向堆叠设置，相邻的两个所述导电层之间设有介质层；m为大于或等于3的整数；其中，对于第n导电层和第(n+1)导电层，n≥1，(n+1)≤m，所述第n导电层设有刻蚀侧壁，所述第(n+1)导电层覆盖所述第n导电层的所述刻蚀侧壁；所述刻蚀侧壁包括斜坡，和/或，所述刻蚀侧壁与所述第n导电层的上表面平滑过渡连接。