电容器结构及其制备方法

本申请公开了一种电容器结构及电容器结构的制备方法。该电容器结构包括：衬底；第1至第m个导电层，m为大于或等于3的整数；各导电层设有通孔组，通孔组包括多个通孔；其中，对于第n导电层、第(n+1)导电层以及第(n+2)导电层，n≥1，(n+2)≤m，第(n+1)导电层的通孔组在第n导电层上的正投影与第n导电层的通孔组间隔设置；第(n+2)导电层的通孔组的多个通孔在第n导电层上的正投影与第n导电层的通孔组的多个通孔一一对应重合。