半导体装置

一种半导体装置，包括：下层间绝缘层；位于下层间绝缘层的上表面上的绝缘图案；位于绝缘图案上的多个底部纳米片；位于多个底部纳米片上的纳米片隔离层，纳米片隔离层包括绝缘材料；位于纳米片隔离层的上表面上的多个上纳米片；位于绝缘图案上的栅电极，栅电极围绕多个底部纳米片、纳米片隔离层和多个上纳米片中的每一个延伸；在绝缘图案上位于栅电极的第一侧上的第一底部源极/漏极区；以及在第一底部源极/漏极区上位于栅电极的第一侧上的第一上源极/漏极区，第一上源极/漏极区与第一底部源极/漏极区间隔开。