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기록

半导体器件及其形成方法

발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

何韦德; 尤韦翔

IPC 분류

H10D 84/85 (2025.01)H10D 84/03 (2025.01)H10D 84/01 (2025.01)

半导体器件,包括:第一衬底;第一鳍,突出在第一衬底之上;第一纳米结构,位于第一鳍上方;第一栅极结构,位于第一纳米结构周围;第一源极/漏极区域,与第一栅极结构相邻并且接触第一纳米结构的第一子集;第一介电结构,位于第一源极/漏极区域和第一鳍之间,其中,第一介电结构接触第一纳米结构的第二子集;第二纳米结构,位于第一鳍上方,并且与第一纳米结构横向间隔开;第二栅极结构,位于第二纳米结构周围;以及第二源极/漏极区域,与第二栅极结构相邻并且接触第二纳米结构。本申请的实施例还涉及形成半导体器件的方法。