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기록

半导体器件及其制造方法

발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

林俊言; 林威呈; 曾健庭

IPC 분류

H10D 84/85 (2025.01)H10D 84/03 (2025.01)H10D 84/01 (2025.01)

半导体器件包括:有源栅极结构,设置在衬底上方;第一源极/漏极部件,设置在有源栅极结构的两个相对侧处;介电栅极结构,设置在衬底上方,介电栅极结构和有源栅极结构沿着垂直于衬底的垂直方向彼此堆叠;以及第二源极/漏极部件,设置在介电栅极结构的两个相对侧处,其中,第一源极/漏极部件和第二源极/漏极部件具有不同的导电类型。本公开的实施还例涉及制造半导体器件的方法。