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기록
高压PNP结构静电防护器件
발명유효
6조회수
9청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
何一鸣
IPC 분류
H10D 89/60 (2025.01)H10D 10/01 (2025.01)H10D 10/60 (2025.01)
本发明提供一种高压PNP结构静电防护器件,器件包括:P型衬底、形成于其内的N型埋层、深N阱、N阱和P型发射极区,共同构成一PNP晶体管,其中位于两端的P型重掺杂为集电极,深N阱为基极,位于中间的P型重掺杂为发射极。器件的击穿电压由所述基极和所述集电极之间形成的纵向PN结决定。由于所述纵向PN结的形成主要依赖于掺杂工艺而非横向光刻精度,本发明器件的击穿电压稳定性显著提高,降低了对工艺波动的敏感度,从而提升了集成电路的可靠性和良率。